本发明公开了一种太赫兹金属镀层空芯矩形波导腔体铸、铣一体化成型制造方法，包括以下步骤：在金属平板上喷射电沉积形成下基体保护层；在下基体保护层上利用管电极电解铣削出槽体；在槽体内壁喷射电沉积腔体金层；在槽体内部喷射电沉积形成金属牺牲芯模；将槽体的上表面与金属牺牲芯模的上表面电解铣削为平整的一个平面；在槽体和金属牺牲芯模的上表面上依次喷射腔体金层和上基体保护层；刻蚀掉所述金属牺牲芯模；切割修整得到太赫兹金属镀层空芯波导腔体。本发明的太赫兹金属镀层空芯矩形波导腔体铸、铣一体化成型制造方法，在夹装好的金属平板一次定位连续一体化操作，制作精度高，效率高，所得太赫兹金属镀层空芯波导腔体内腔表面质量高。

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